全自动3D光刻耦合封装平台

Vanguard公司全自动3D光刻耦合封装平台,采用3D光刻工艺,借鉴电气引线键合(wire bonding)思路,可制备出任意形状高分子聚合物光波导和微光学透镜,实现芯片-芯片/芯片-光纤光耦合互联。